
阿斯麥工廠火災(zāi)初步影響評(píng)估:恐對(duì)EUV生產(chǎn)帶來影響
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近期,阿斯麥(ASML.US)在德國柏林的一家工廠發(fā)生火災(zāi)。而在前幾天,阿斯麥進(jìn)行了初步的損失評(píng)估。以下是該公司提到的關(guān)于火災(zāi)造成的影響信息。該公司表示:“火災(zāi)發(fā)生在公司位于柏林的一處生產(chǎn)大樓,煙霧影響了鄰近的一棟建筑的一部分。我們已經(jīng)能夠恢復(fù)大樓內(nèi)的部分生產(chǎn),而在該廠區(qū)的其他大樓并未受到影響,并已全面開始運(yùn)作。
雖然我們對(duì)損害的影響評(píng)估仍在進(jìn)行中,但我們目前認(rèn)為,對(duì)于計(jì)量和檢測產(chǎn)品的產(chǎn)出計(jì)劃并不受影響,因?yàn)樗鼈儾簧婕霸诎亓止S內(nèi)制造的任何部件。而對(duì)于DUV光刻機(jī)組件的生產(chǎn)則已經(jīng)重新啟動(dòng)。雖然DUV組件的生產(chǎn)方面曾出現(xiàn)了一些中斷,但我們預(yù)計(jì)將以一種不會(huì)影響我們DUV的產(chǎn)量和收入計(jì)劃的方式來補(bǔ)救這一問題。
而在EUV方面,火災(zāi)影響了我們EUV生產(chǎn)系統(tǒng)里的一個(gè)模塊的生產(chǎn)區(qū)域。我們?nèi)栽谥铝τ诨謴?fù)該區(qū)域的生產(chǎn)計(jì)劃,并將采取措施使火災(zāi)對(duì)EUV客戶的潛在影響降至最低。”
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