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英特爾完成首臺商用高數(shù)值孔徑EUV光刻機組裝
造數(shù)
2024-04-18 23:38
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美國芯片公司英特爾宣布，其代工廠已接收并完成組裝業(yè)界首臺商用高數(shù)值孔徑（High NA）極紫外（EUV）光刻機。據(jù)介紹，這套重達165噸的設備是阿斯麥（ASML）與英特爾合作數(shù)十年后開發(fā)的新一代光刻設備，現(xiàn)位于俄勒岡州的D1X制造工廠，正在進行最后的校準。
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